目前電力系統電力設備中，GIS組合電氣、變壓器、斷路器器等電氣設備的滅弧和絕緣氣體廣泛使用SF6氣體。SF6氣體的優越性能實現SF6電器設備在電力系統中的應用越來越成熟。SF6氣體本身是無毒的，化學性質穩定。但SF6氣體在電弧作用下會分解一些有害物質，這些分解物會與水發生化學反應，產生一些有毒、腐蝕性的物質。從而導致SF6電氣設備長期安全穩定的運行，以及危害人身健康。由于SF6氣體水分超標造成設備出現安全隱患，甚至因發現不及時在電力系統內發生故障。SF6氣體中水分的含量有其嚴格的規定，有效控制SF6氣體中水分的含量，才得以能確保SF6電力設備的安全運行。根據六氟化硫氣體電力設備管理和檢測規程，定期做SF6氣體微水測量實驗那是必不可少的。
SF6電氣設備氣體水分的危害主要有三個方面：
一、水汽引起SF6設備化學腐蝕
(1)在常溫下SF6氣體穩定性極好，當溫度低于500℃時一般不會自行分解，但當SF6氣體中含有水汽時，溫度高于200℃就可能產生水解反應，生成HF和S02，SF6氣體在電弧作用下發生自分解反應，與水汽發生反應產生腐蝕性HF、H2S03，使設備內部零件的表面腐蝕。設備內部水分在凝露或相對濕度較大會造成內部構件材料絕緣性能的下降而導致事故發生，特別是當水分與絕緣材料表面附著的電弧分解產物相互作用時，會大大降低其絕緣性；
二、化學反應產物固體粉塵，會降低滅弧室擊穿電壓
(2)在電弧作用下，SF6氣體與電極材料金屬銅和鎢蒸氣發生反應，生成金屬氟化物和低氟化物，與水汽反應生成物W03和CuF2呈粉末狀態沉積在滅弧室內，粉塵若沉積在電極表面將會降低滅弧室擊穿電壓。斷路器內部過多的水分和其它氣體雜質的存在會阻礙SF6氣體在滅弧過程中的復合，從而導致設備電弧開斷能力的下降；
三、水汽的存在會降低絕緣子表面閃絡電壓
(3)水分與電弧分解產物發生水解產生地腐蝕性很強的酸性物質會對設備金屬材料和絕緣材料造成腐蝕而導致設備機械性能和絕緣性能劣化。SF6氣體本身含有一定的水汽，設備密封處也會滲入水汽。除了使固體絕緣子的絕緣強度降低外，還會因溫度降低時，可能在設備內部結露，附著在絕緣子和設備內零件表面，大大降低絕緣子表面的閃絡電壓。
SF6電氣設備氣體微量水分測量
ZYWS-S SF6氣體微水測量儀是卓亞電力研發中心根據國家電力行業標準DL/T506-2007《六氟化硫電氣設備中絕緣氣體濕度測量方法》和現場的使用要求研發而成，是測量SF6氣體中微量水分含量的高精度智能型電力測試儀，SF6智能微水測量儀適用于石油、電力、冶金、環保、科研院所以及電建等單位和部門。SF6氣體微水測量儀配有多種接頭以及德國原裝進口自鎖觸頭，安全可靠，無漏氣，保證數據準確性和可靠性，便攜式操作，測試過程響應時間快、測量周期短，顯示直觀，操作簡便。 SF6微水儀采用智能化自校準技術，測量范圍寬，響應速度快，準確度高，線性好，測量曲線動態顯示。
